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Singulus Technologies AG

展位号: 2577

www.singulus.de
bernhard.krause@singulus.de

关于我们

德国新格拉斯科技集团
技术创新

德国新格拉斯科技集团在合理利用资源的基础上为太阳能、半导体、医学技术、消费品和光盘行业制造高效的生产设备。

德国新格拉斯科技集团旨在巩固并进一步拓宽其现有的核心竞争力,包括涂层技术、表面工艺、湿法化学应用和其它相关的化学和物理工艺步骤。

德国新格拉斯科技集团将其掌握的自动化和工艺技术运用到所有设备、工艺和应用领域。



展示产品

ROTARIS适用于研发和试生产的真空溅射设备
TIMARIS超高真空沉积平台
用于半导体制造的湿法工艺设备
用于半导体制造的设施
Ultrahigh Vacuum Deposition Platform TIMARIS

Ultrahigh Vacuum Deposition Platform TIMARIS

SINGULUS has already established and qualified the second generation of the TIMARIS PVD Cluster Tool platform in the market and is offering a complete portfolio of process modules for different applications. These modules include the Multi-Target-Module (MTM), Oxidation-Process-Module (OPM), Pre-Clean- Module (PCM), Combi-Process-Module (CPM), Four-Target-Module (FTM) and Static-Deposition- Module (SDM) as well as the Rotating-Substrate- Module (RSM).

www.singulus.com/en/semiconductor/timaris.html

ROTARIS  适用于研发的先进溅射设备

ROTARIS 适用于研发的先进溅射设备

ROTARIS超高真空系统是用于快速、精确和全自动薄膜溅射沉积的模块化平台。它是基于200mm和300mm晶圆工艺的桥式系统。其主沉积室RSM(旋转基板模块)可容纳多达12个带直径为100mm的靶材的物理气相沉积(PVD)阴极。

www.singulus.com/en/semiconductor/rotaris.html

适用于300毫米半导体晶圆的湿法处理系统

适用于300毫米半导体晶圆的湿法处理系统

半导体领域的各种高端产品(晶片、微机电系统、MRAM存储器、通讯系统)。产品范围包括研发用的手动湿式设备、半自动设备和用于清洁、蚀刻和干燥等化学方法表面处理的全自动化工具。

www.semicon-china.german-pavilion.com/login/content/...

联系方式

地址
Singulus Technologies AG
Hanauer Landstr. 103
63796 Kahl am Main
Germany

电话: +49 618 8440612
传真: +49 618 8440110

Berthold Ocker
Head of Business Unit Semiconductor
电话: +49 160 1816785
Berthold.Ocker@singulus.de

代表
SINGULUS TECHNOLOGIES SHANGHAI




电话: +86 1382 2138376

greens.pan@singulus.com.cn
www.singulus.de



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展会组织者

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