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Vistec Electron Beam GmbH

展位号: 2676

www.vistec-semi.com
electron-beam@vistec-semi.com

关于我们

Vistec Electron Beam GmbH 维斯泰克电子束设备有限责任公司是一家专业的设备供应商,长期经营销售各种电子束光刻的高级技术解决方案。电子束光刻系统基于可变矩形束 (VSB),主要用于半导体应用和各类高级研究,其中包括硅直接写入、化合物半导体、掩模制造,以及集成光学器件和其他新兴市场。公司总部位于德国耶拿市,生产设备也在德国,此外,公司在欧洲、亚洲和美国地区都设有维斯泰克电子束的售后服务及技术支持中心。

欢迎访问www.vistec-semi.com,了解更多关于维斯泰克电子束设备有限责任公司的信息。


展示产品

Vistec电子束公司设计,生产,销售和服务50kV的变形束电子束光刻系统.为包括半导体工业客户和先进技术研发,微纳光学等新兴市场提供服务和应用
产品系列覆盖了不同的通用平台,例如提供了200mm和300mm平台的产品.
今年的Semicon China展会上,Vistec的 SB250和SB3050将在现场展出.
Vistec SB3050 series

Vistec SB3050 series

微创(Vistec) SB3050系列成形电子束曝光机是当今最先进的曝光设备,可以满足32纳米及以下产品技术中的研发、试制和小批量生产所需的1:1图形制作的要求。图形单元曝光技术(CP)成为微创(Vistec)最新产品SB3055电子束曝光机独一无二的技术特征,该技术可以显著提高图形生产效率。这项极其有用的图形单元曝光技术(CP)可装配在所有微创(Vistec) SB3050系列机型中。

经工业生产验证的300毫米全面积曝光和图形单元曝光技术(CP)使得微创(Vistec)在电子束直写领域的领先地位成功地得到了加强。

www.vistec-semi.cn/products/sb3050/

Vistec SB250 series

Vistec SB250 series

微创(Vistec) SB250电子束曝光系列是既可以用于硅片直写(最大硅片直径为200毫米)和掩模制造(最大掩模尺寸为7英寸)的高性价比通用系统。模块式系统架构的设计使其成为易于升级到更高性能的设备。它的机动性和全自动化工作模式(包括对工作基片的传输)使它得到了工业界和应用研究部门的青睐。

www.vistec-semi.cn/products/sb250/

联系方式

地址
Vistec Electron Beam GmbH
Ilmstr. 4
07743 Jena
Germany

电话: +49 3641 79980
传真: +49 3641 7998222

Ines Stolberg
Manager Product Management & Marketing
电话: +49 3641 79980
electron-beam@vistec-semi.com

代表
新耕(上海)贸易有限公司
上海市浦东新区福山路450号22楼A座
200122上海
中国

电话: +86 21 58200880
传真: +86 21 58200368

harrison.lee@scientech.com.cn
www.scientech.com.cn/



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展会组织者

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